錸箔
厚度:0.03-0.2mm
應用:用于薄膜和涂層的化學氣相沉積(CVD)和物理氣相沉積(PVD)
雜質含量表(%,max) | |||||||
元素 | 含量 | 元素 | 含量 | 元素 | 含量 | 元素 | 含量 |
Na | 0.0005 | Ti | 0.0001 | Cu | 0.0001 | Sb | 0.0001 |
Mg | 0.0001 | V | 0.0001 | Zn | 0.0001 | Ta | 0.0001 |
Al | 0.0005 | Cr | 0.0005 | As | 0.0001 | W | 0.0005 |
Si | 0.0005 | Mn | 0.0001 | Zr | 0.0001 | Pb | 0.0001 |
P | 0.0005 | Fe | 0.0008 | Mo | 0.0010 | Bi | 0.0001 |
K | 0.0005 | Co | 0.0001 | Cd | 0.0001 | Se | 0.0001 |
Ca | 0.0005 | Ni | 0.0001 | Sn | 0.0001 | H | 0.005 |
O | 0.01 | C | 0.002 | N | 0.001 | -- | -- |